晶圆和磨削垫在化学机械抛光中多尺度表面拓扑形状的演化规律及应用研究 | |
项目编号 | 61564006 |
吴黎晓 | |
项目类别 | 地区科学基金项目 |
项目来源 | 国家自然科学基金 |
2016-01 | |
结束日期 | 2019-12 |
学科门类 | 12 - 信息科学 ; 1204 - 半导体科学与信息器件 |
主持机构 | 兰州理工大学 |
项目经费 | 420000.0 |
国家 | CN |
语种 | 中文 |
文献类型 | 项目 |
条目标识符 | https://ir.lut.edu.cn/handle/2XXMBERH/64645 |
专题 | 机电工程学院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴黎晓.晶圆和磨削垫在化学机械抛光中多尺度表面拓扑形状的演化规律及应用研究.2016. |
条目包含的文件 | 条目无相关文件。 |
个性服务 |
查看访问统计 |
谷歌学术 |
谷歌学术中相似的文章 |
[吴黎晓]的文章 |
百度学术 |
百度学术中相似的文章 |
[吴黎晓]的文章 |
必应学术 |
必应学术中相似的文章 |
[吴黎晓]的文章 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论