提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件

	提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件
	徐树深; 梅丽文; 张韬
	2013-02-06
专利权人	兰州理工大学温州泵阀工程研究院
公开日期	2013-02-06
授权国家	中国
专利类型	实用新型
摘要	本实用新型提供一种提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件，包括靶材和磁环调节杆以及磁环，磁环固定在磁环调节杆上，磁环调节杆内有供冷却水通过的中空结构，磁环的前端是靶材；螺纹法兰和靶材伸缩套用螺纹连接并用定位螺钉定位，将弹性卡圈套入靶材的凹槽中然后将卡套螺母套在弹性卡圈上与螺纹法兰相连接；靶材与靶材伸缩套之间通过橡胶密封圈密封；本实用新型具有的有益效果是：卡套螺母、弹性卡簧、靶材、定位螺钉、橡胶密封圈、隔离板（靶材快要烧蚀穿的时候才用）和靶材伸缩套形成的连接方式，省却了在靶材上加工大直径螺纹（螺纹约占靶材厚度的30%左右）的弊端，提高了靶材利用率。
申请日期	2012-08-08
优先权日	2012-08-08
预估到期日	2022-08-08
语种	中文
专利状态	未缴年费
申请号	CN201220389627.7
公开（公告）号	CN202717837U
IPC 分类号	C23C14/24
专利代理人	程春生
代理机构	北京中北知识产权代理有限公司
权利要求	1.提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件，包括靶材（1）和磁环调节杆（22）以及磁环（23），其特征在于，磁环（23）固定在磁环调节杆（22）上，磁环调节杆（22）内有供冷却水通过的中空结构，磁环（23）的前端是靶材（1）；螺纹法兰(4)和靶材伸缩套(13)用螺纹连接并用定位螺钉(5)定位，将弹性卡圈(3)套入靶材(1)的凹槽中然后将卡套螺母(2)套在弹性卡圈(3)上与螺纹法兰(4)相连接；靶材（1）与靶材伸缩套（13）之间通过橡胶密封圈（6）密封；调节螺母（14）与固定螺纹座（12）的啮合连接；磁环调节杆（22）的中空结构分别与出水嘴（16）和进水管相通；出水嘴（16）与磁环调节杆（22）之间设有冷却水端盖（15）；且出水嘴（16）与磁环调节杆（22）之间通过橡胶密封圈（17）密封；密封圈压板（19）通过内六角螺钉（18）固定在冷却水端盖（15）上；且密封圈压板（19）和冷却水端盖（15）之间通过V型密封圈（20）密封。 2.如权利要求1所述的提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件，其特征在于，磁环调节杆（22）与磁环（23）活动配合连接。 3.如权利要求1或2所述的提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件，其特征在于，靶材（1）设有的凹槽，凹槽中的卡簧（3）和螺纹卡套（2）将靶材（1）与螺纹法兰（4）连接；而螺纹法兰（4）和螺纹伸缩套（13）采用螺纹副和定位螺钉（5）连接；靶材（1）和螺纹伸缩套（13）之间通过橡胶密封圈（5）密封。
被引用专利数量	2
简单法律状态	失效
文献类型	专利
条目标识符	https://ir.lut.edu.cn/handle/2XXMBERH/109771
专题	兰州理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	徐树深,梅丽文,张韬. 提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件[P]. 2013-02-06.

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文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN202717837U.PDF（352KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	浏览下载