类富勒烯含氢碳薄膜的直流制备及摩擦学性能的研究

题名	类富勒烯含氢碳薄膜的直流制备及摩擦学性能的研究
作者	郭俊猛
学位类型	硕士
导师	欧玉静 ; 张俊彦
答辩日期	2012
学位授予单位	兰州理工大学
学位名称	工程硕士
学位专业	化学工程领域
关键词	类富勒烯脉冲偏压直流低敏感性淬火
摘要	本研究通过改变前驱体的参数和电源的能量，采用直流偏压等离子体增强化学气相沉积技术（PECVD），在单晶硅（100）基底成功合成了含氢类富勒烯碳基薄膜，与传统类金刚石薄膜和用脉冲偏压协助方案制备的含氢类富勒烯碳基薄膜相对比，考察了其类富勒烯纳米结构的含量与机械性能和摩擦学性能之间的相互关系，并进一步探讨了直流偏压电源制备的含氢类富勒烯碳基薄膜在不同的载荷，滑动速率，相对湿度条件的摩擦学性能。通过调控前驱体中不同流量的氩气，尝试控制薄膜中类富勒烯纳米结构的含量，研究了类富勒烯纳米结构的含量对机械性能和摩擦学性能的影响，从而找到他们之间的相应关系，根深入的讨论了含氢类富勒烯碳薄膜在大气环境条件下的摩擦润滑机理，为摩擦过程中纳米结构的演变提供理论支持。
其他摘要	In this study,hydrogenated nanostructures(Fullerene-like)DLC films were successfully prepared on the surface of silicon (100) by plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique using a direct current supply.surveying the class content of fullerene-like nano-structure and the relationship between mechanical properties and tribological properties,and further discusses the dc bias power preparation of hydrogen fullerene carbon film in different load, sliding speed,relative humidity conditions of tribological performance.
页数	45
语种	中文
学号	122085216009
文献类型	学位论文
条目标识符	https://ir.lut.edu.cn/handle/2XXMBERH/102335
专题	兰州理工大学
作者单位	兰州理工大学
第一作者单位	兰州理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	郭俊猛. 类富勒烯含氢碳薄膜的直流制备及摩擦学性能的研究[D]. 兰州理工大学,2012.