化学水浴沉积参数对CdS薄膜生长速率的影响
王智平; 赵静; 王克振
2013-08-28
发表期刊太阳能学报
ISSNISSN:0254-0096
期号2013年08期页码:1311-1316
摘要采用化学水浴法,在醋酸镉、硫脲、氨水、醋酸铵的体系中制备CdS薄膜,设计L2556正交实验,研究各沉积参数对CdS薄膜生长速率的影响。结果表明,温度、醋酸铵浓度、搅拌强度为主要影响因素,醋酸镉、硫脲、氨水的浓度为次要因素,生长速率最小为0.68nm/min,最大达到43.12nm/min。各沉积参数对CdS薄膜生长速率的影响规律各不相同,随温度升高而单调增加,随醋酸铵浓度增大而单调下降;随着转速的加快生长速率先增大后减小最后保持稳定;醋酸镉、硫脲和氨水浓度对生长速率的影响规律较为复杂,存在一临界浓度,在临界浓度两侧生长速率变化差异较大,当浓度过大时,生长速率开始下降。
关键词化学水浴沉积(CBD) CdS薄膜 正交实验 生长速率
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收录类别CNKI
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符https://ir.lut.edu.cn/handle/2XXMBERH/9948
专题材料科学与工程学院
能源与动力工程学院
作者单位1.兰州理工大学材料科学与工程学院
2.兰州理工大学可再生能源研究院
推荐引用方式
GB/T 7714
王智平,赵静,王克振. 化学水浴沉积参数对CdS薄膜生长速率的影响[J]. 太阳能学报,2013(2013年08期):1311-1316.
APA 王智平,赵静,&王克振.(2013).化学水浴沉积参数对CdS薄膜生长速率的影响.太阳能学报(2013年08期),1311-1316.
MLA 王智平,et al."化学水浴沉积参数对CdS薄膜生长速率的影响".太阳能学报 .2013年08期(2013):1311-1316.
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