沉积温度对钢球表面含氢碳薄膜结构和摩擦学性能的影响

	沉积温度对钢球表面含氢碳薄膜结构和摩擦学性能的影响
	付宇 1; 路阳 2; 杨效田2 ; 王永富 3; 张俊彦 3
	2018
发表期刊	中国表面工程
ISSN	ISSN：1007-9289
卷号	31 期号:2018年04期页码:113-121
摘要	目前,含有类富勒烯碳结构的氢化碳薄膜(FL-C:H)主要通过等离子体增强化学气相沉积技术(PECVD)在单晶硅表面制备。文中在碳薄膜PECVD沉积工艺之前,通过额外引入原位渗氮方法在钢球表面沉积过渡层以增强薄膜与基材结合力,从而成功制备了具有类富勒烯结构的含氢碳薄膜。通过改变钢球表面碳膜沉积时间(30、60、90、120、150和180 min)获得厚度不同、结构变化的碳膜,进而研究碳膜的结构演变与摩擦学性能之间的关系。结果表明:FL-C:H薄膜PECVD沉积工艺(采用了比额外引入的原位渗氮工艺更低的基底偏压)使钢基底温度随沉积时间增加而下降,导致薄膜结构转变。碳膜结构最初为类石墨结构,随着沉积时间的增长逐渐转变为类富勒烯结构;沉积时间为180 min的碳基薄膜具有超低摩擦因数(0.009)和超长磨损寿命(53 000个周期)。
关键词	超低摩擦含氢碳膜类石墨类富勒烯
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收录类别	CNKI
语种	中文
WOS研究方向	Metallurgy & Metallurgical Engineering
WOS类目	METALLURGY METALLURGICAL ENGINEERING
CSCD记录号	CSCD:6309532
文献类型	期刊论文
条目标识符	https://ir.lut.edu.cn/handle/2XXMBERH/1913
专题	材料科学与工程学院学报编辑部
作者单位	1.兰州理工大学材料科学与工程学院;;中国科学院兰州化学物理研究所, ;;固体润滑国家重点实验室, 兰州;;兰州, ;; 730050;;730000 2.兰州理工大学材料科学与工程学院, 兰州, 甘肃 730050, 中国 3.中国科学院兰州化学物理研究所, 固体润滑国家重点实验室, 兰州, 甘肃 730000, 中国
第一作者单位	材料科学与工程学院
第一作者的第一单位	材料科学与工程学院
推荐引用方式 GB/T 7714	付宇,路阳,杨效田,等. 沉积温度对钢球表面含氢碳薄膜结构和摩擦学性能的影响[J]. 中国表面工程,2018,31(2018年04期):113-121.
APA	付宇,路阳,杨效田,王永富,&张俊彦.(2018).沉积温度对钢球表面含氢碳薄膜结构和摩擦学性能的影响.中国表面工程,31(2018年04期),113-121.
MLA	付宇,et al."沉积温度对钢球表面含氢碳薄膜结构和摩擦学性能的影响".中国表面工程 31.2018年04期(2018):113-121.

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沉积温度对钢球表面含氢碳薄膜结构和摩擦学（4739KB）	期刊论文	出版稿	开放获取	CC BY-NC-SA	浏览下载