IR
液氮激冷对含氢非晶碳膜性能的影响
王兆龙1; 薛勇2; 张斌3; 高凯雄3; 强力3; 牟志星4; 王凯4
2020
Source Publication摩擦学学报
ISSN1004-0595
Volume40Issue:1Pages:82-88
Abstract采用等离子增强化学气相沉积系统制备了含氢非晶碳膜.加热到相应温度(200、250、300、350和400 ℃)后,对薄膜进行液氮激冷处理,并研究其结构、机械及摩擦性能的变化.结果表明:薄膜硬度在200~300 ℃温度下液氮激冷后,其硬度随热处理温度增加,C-C sp~2键逐渐增加;在350~400 ℃温度下液氮激冷处理后,薄膜的硬度逐渐减小,薄膜呈石墨化趋势;而其弹性恢复在整个处理过程(200~400 ℃)中随温度升高持续增大,和C-C sp~2键变化趋势一致.液氮激冷处理后,含氢非晶碳膜的摩擦系数及磨损量均得到改善,在300 ℃激冷处理的含氢非晶碳膜具备最低的摩擦系数及磨损量.
Keyword含氢非晶碳膜 激冷 摩擦 磨损 热稳定性
Indexed ByCSCD
Language中文
WOS Research AreaEngineering
WOS SubjectENGINEERING MECHANICAL
CSCD IDCSCD:6675860
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.lut.edu.cn/handle/2XXMBERH/75817
Collection兰州理工大学
Affiliation1.中国科学院兰州化学物理研究所, 固体润滑国家重点实验室, 兰州, 甘肃 730000, 中国
2.中核四零四有限公司第三分公司, 兰州, 甘肃 732850, 中国
3.中国科学院兰州化学物理研究所;;中国科学院大学材料科学与光电技术学院, 固体润滑国家重点实验室;;, 兰州;;, 甘肃;;北京 730000;;100049, 中国
4.中国科学院兰州化学物理研究所;;兰州理工大学石油化工学院, 固体润滑国家重点实验室;;, 兰州;;兰州, 甘肃;;甘肃 730000;;730050, 中国
Recommended Citation
GB/T 7714
王兆龙,薛勇,张斌,等. 液氮激冷对含氢非晶碳膜性能的影响[J]. 摩擦学学报,2020,40(1):82-88.
APA 王兆龙.,薛勇.,张斌.,高凯雄.,强力.,...&王凯.(2020).液氮激冷对含氢非晶碳膜性能的影响.摩擦学学报,40(1),82-88.
MLA 王兆龙,et al."液氮激冷对含氢非晶碳膜性能的影响".摩擦学学报 40.1(2020):82-88.
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