变结构反应离子刻蚀腔室流场热场的数值仿真
张景文1; 范斌2; 李志炜2; 汉语2
2020
Source Publication激光技术
ISSN1001-3806
Volume44Issue:1Pages:136-142
Abstract为了提高刻蚀的均匀性,对400mm反应离子刻蚀(RIE)腔室建立了气体流动的连续流体模型和热传递模型,研究了反应腔室内压强、流速和温度分布。冷却板恒温285K时,依次改变入口流量和出口压强,分别分析了腔室内部基片晶圆附近的流速、压强、温度的分布;依次改变极板间距离(30mm~60mm)、进气口直径(300mm~620mm)、抽气口直径(50mm~250mm),分析了反应腔室内气流和温度分布。结果表明,压强分布呈现出边缘低中心高的特征,流速呈现边缘高且中心低的特征,且在小流量时压强的均匀性较好;压强分布的均匀性随腔室极板间距离增加而有所提高,且随腔室气体出口面积减小与进口面积增加也有所提高;基片晶圆上方附近处温度场大面均匀、稳定,几乎不受入口流量波动变化的影响,热稳定性良好。该研究对大口径RIE腔室结构设计改进及对大口径反应离子刻蚀工艺控制具有重要意义。
Keyword光学制造 反应离子刻蚀 变结构腔室 流热场分布 滑移区稀薄气体 数值模拟
Indexed ByCSCD
Language中文
WOS Research AreaEngineering
WOS SubjectENGINEERING ELECTRICAL ELECTRONIC
CSCD IDCSCD:6652318
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.lut.edu.cn/handle/2XXMBERH/75695
Collection能源与动力工程学院
Affiliation1.中国科学院光电技术研究所;;电子科技大学光电科学与工程学院;;中国科学院大学;;兰州理工大学能源与动力工程学院, ;;;;;;, 成都;;成都;;;;兰州, ;;;;北京;; 610209;;610054;;100049;;730050
2.中国科学院光电技术研究所, 成都, 四川 610209, 中国
First Author AffilicationColl Energy & Power Engn
First Signature AffilicationColl Energy & Power Engn
Recommended Citation
GB/T 7714
张景文,范斌,李志炜,等. 变结构反应离子刻蚀腔室流场热场的数值仿真[J]. 激光技术,2020,44(1):136-142.
APA 张景文,范斌,李志炜,&汉语.(2020).变结构反应离子刻蚀腔室流场热场的数值仿真.激光技术,44(1),136-142.
MLA 张景文,et al."变结构反应离子刻蚀腔室流场热场的数值仿真".激光技术 44.1(2020):136-142.
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