多元共掺杂类金刚石碳膜的设计、制备及摩擦学特性研究

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	多元共掺杂类金刚石碳膜的设计、制备及摩擦学特性研究
项目编号	51105186
	姜金龙
摘要	【结题摘要】类金刚石碳膜的内应力极大限制了其应用。金属掺杂是降低类金刚石碳膜内应力的一条有效途径，然而却是以牺牲薄膜的sp3含量为代价。针对这一问题，本项目提出通过钛硅多元共掺杂调控类金刚石碳膜微结构的新思路。前期研究工作已证明该方法可行，并发现了共掺杂碳膜在大气环境下的超润滑现象。拟采用非平衡磁控溅射方法，通过设计靶材成份和优化工艺参数制备钛硅共掺杂类金刚石碳膜。研究工艺参数对薄膜组成、结构和性能的影响规律，揭示钛硅元素协同作用对薄膜微结构的调控机制及其与性能的关系。通过研究钛硅共掺杂碳膜在不同环境气氛和条件下的摩擦学行为，从薄膜结构、表面性质、环境气氛和摩擦化学的角度揭示掺杂元素对薄膜摩擦学性能的影响规律，阐明钛硅共掺杂类金刚石碳膜大气环境下超润滑机理，发展一种制备低应力和可控结构类金刚石碳膜的新途径。项目研究成果可为设计高性能或多功能的碳基润滑薄膜材料提供理论依据，具有重要的学术意义和应用价值。
项目类别	青年科学基金项目
项目来源	国家自然科学基金
	2012
结束日期	2014-12-01
学科门类	1102 - 机械工程 ; 11 - 工程与技术
主持机构	兰州理工大学
项目经费	260000.0
国家	CN
语种	中文
文献类型	项目
条目标识符	https://ir.lut.edu.cn/handle/2XXMBERH/64878
专题	理学院
推荐引用方式 GB/T 7714	姜金龙.多元共掺杂类金刚石碳膜的设计、制备及摩擦学特性研究.2012.