| 一种类金刚石碳薄膜的制备方法 |
| 陈丽 ; 张明霞; 李娜
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| 2016-08-24
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| 专利权人 | 兰州理工大学
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| 公开日期 | 2016-08-24
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 发明申请
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| 摘要 | 本发明提供了一种类金刚石碳薄膜的制备方法，包括如下步骤：以离子液体溶液为原料，制备得到离子液体薄膜；将所述离子液体薄膜在惰性气氛下进行热处理，得到类金刚石碳薄膜。本发明提供的方案以离子液体作为碳源，拓展了热解法制备DLC薄膜的碳源选择。此外，本发明得到的DLC薄膜具有高硬度和高杨氏模量的特性。实验结果表明，杨氏模量Er为11.92GPa，硬度为5.1GPa。另外，本发明得到的DLC薄膜呈无定形非晶态碳结构，满足类金刚石的结构要求。 |
| 申请日期 | 2016-04-05
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| 申请号 | CN201610207677.1
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| 公开（公告）号 | CN105887051A
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| IPC 分类号 | C23C18/12
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| 专利代理人 | 李娜
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| 代理机构 | 北京高沃律师事务所
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | https://ir.lut.edu.cn/handle/2XXMBERH/109159
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| 专题 | 石油化工学院
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
陈丽,张明霞,李娜. 一种类金刚石碳薄膜的制备方法[P]. 2016-08-24.
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文件名：
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CN105887051A.PDF
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格式：
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Adobe PDF
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